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XYステージ

よみ エックスワイステージ
英 XY stage
概要 XYステージとは、X軸(左右)方向とY軸(縦)方向に動く位置決めステージのこと。各方向へ動くステージを重ねることで、任意の場所へ位置決めを行う。産業用ロボット半導体製造装置などの位置決めに使用される。

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LMガイド、ボールスプライン、ボールねじ、LMガイドアクチュエータなどの直動システムを中心とした機械要素部品の開発・製造...
ボイスコイルタイプのアクチュエータ(小型リニアモータ)の製造・販売。全ての製品に於いて推力&速度制御、高精度の多点位置決...

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