技術伝承と発展を支援する ものづくりエンジニア向け技術用語サイト『モノシリ』
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アールヒード / リード |
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Reflective High-Energy Electron Diffraction |
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RHEEDとは、Reflective High-Energy Electron Diffractionの略で、薄膜などの表面構造の解析に使用する反射高速電子線回折法のこと。真空中で電子線を試料に対してほぼ水平に入射させ、表面の原子との相互作用により回折された電子線をスクリーンに投影して回折パターンを得る。 RHEEDはそれまでのLEED(低速電子線回折)とは異なり、成膜プロセスのじゃまにならないため、成膜中にその表面を原子レベルで観察・解析できるのが特長である。半導体などの薄膜作製のモニタリングや制御、成長速度の測定などに利用されている。 |
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