技術伝承と発展を支援する ものづくりエンジニア向け技術用語サイト『モノシリ』
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ピーエフシーガス |
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PFC Gas |
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PFC(パーフルオロカーボン)ガスとは、半導体製造やFPDの製造工程のエッチングや洗浄に使う代替フロンガスの一種。難燃性で浸透性が良く、安定して健康にも影響が少ないが、地球温暖化効果はCO2の1万倍、大気寿命も1万年と長いため、環境への悪影響が強い。半導体業界ではPFCの回収・再利用や除害装置などを導入して放出削減への取組みが進んでいる。 PFC除害装置には、高温燃焼や触媒を利用した熱化学反応、プラズマ放電などを利用した装置が一般的。CVD装置では燃焼酸化方式が効率・安全面から有効で、排ガスが小容量のエッチング装置では化学反応方式やプラズマ方式が有効とされる。 |
| 地球温暖化に与える影響はCO2の“1万倍”。さて、この物質は一体何でしょうか？ 答えはPFCガス。半導体製造のエッチングや洗浄工程で一般的に使われています。 多くの企業が省エネや環境負荷低減を掲げてCO2削減を進めていますが、PFCガスに対しては有効な対策が進んでいないのが実情です。ようやく最近になってPFC対策を表明する企業が増え、例えばルネサステクノロジーは07年度ですでに95年比27％のPFC削減を達成し、08年度以降も継続して削減に努めることを宣言しています。また、2010年までに97年と比較して60％のPFCガス削減を目標とするセイコーエプソンは『エプソンメソッド』というPFCガスの簡易測定法を開発し、PFCガス排出削減に取組む企業向けに無償許諾を行っています。 業界大手の取組みも本格化し、PFCガス除害装置や代替ガスの開発も進んできました。PFCガスの不使用、排出量ゼロが実現する日も近いかもしれません。 |
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