技術伝承と発展を支援する ものづくりエンジニア向け技術用語サイト『モノシリ』
技術伝承と発展を支援する ものづくりエンジニア向け技術用語サイト『モノシリ』
 |
エムオーシーブィディー |
 |
Metal Organic Chemical Vapor Deposition |
 |
MOCVDとは、Metal Organic Chemical Vapor Depositionの略で、化学反応により基板上に薄膜を形成するCVD(化学気相成長法)の一種である有機金属化学気相成長法のこと。原料に有機金属(ガス化が容易である)を用いるために、こう呼ばれている。 ガスの流量や、温度、圧力、基板温度などを制御することで、他の方法に比べて大面積に、効率よく、均質な薄膜結晶を作成でき、単一原子層での制御も可能である。化合物半導体や、半導体レーザー、紫外・青色・白色LEDなどの量産に使用されている。 |
|
