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MEMS圧力センサ検査装置

よみ メムスアツリョクセンサケンサソウチ
英 MEMS pressure sensor inspection equipment
概要 MEMS圧力センサ検査装置とは、MEMS(micro electro mechanical systems)を用いた圧力センサの測定精度を検査する装置のこと。一般的なMEMS圧力センサの構成要素がμmサイズのため、検査装置の構成要素自体も微細化する必要がある。圧力の校正以外に、温度特性の検査を行う機種もある。

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