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MEMS

よみ メムス
英 Micro Electro Mechanical Systems
概要 MEMSとは、微小電気機械システムのこと。微細な電気要素と機械要素を一つの基板上に組み込んだ部品で、半導体製造やレーザー加工技術などの微細加工技術を用いて製造される。主な製品にはインクジェットプリンターのヘッド、速度や圧力を測る各種センサー類やアクチュエータなどがある。

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気になるキーワードコラム MEMS 2007/9/10(2009年3月31日)

液晶とプラズマ、どちらにしようか迷っている人も多いはず。テレビをあまり見ない人ならプロジェクターという選択肢はいかがでしょうか?

プロジェクターにはいくつかの方式がありますが、DLP方式はDMD(デジタルミラーデバイス)というデバイスを使ったもので、高画質で人気があります。DMDはCMOS半導体上に独立して動くミラーを48万200万個敷き詰めた半導体+機械のデバイスで、いわゆる「MEMS」の一つです。

(財)マイクロマシンセンターによると、MEMS関連市場は2005年は約4,400億円、2010年には1兆1,700億円、2015年には2兆4,000億円に拡大するとしています。別の調査では、MEMSデバイスは2010年に世界で99億ドル、システムを合わせた市場では950億ドルと予測され、MEMSはこれからの製造業のカギを握る製品群です。小型化と言えば、日本のお家芸。最先端の技術力で世界を引っ張っていきたいところです。

気になる技術用語コラム

自動車向け電子制御技術が磨いたMEMS(2010年9月2日)

環境、水と並ぶ成長市場と言われているのが“MEMS”です。MEMS市場は2010年に世界全体でおよそ92億米ドルを達成すると予測され、2015年には152億米ドルに達すると見込まれています。

そんなMEMSの製造技術、コスト競争力の両面において世界に先行してきたのは、エアバッグやABS、横滑り防止装置など自動車の電子制御化の普及が早かった欧州の企業でした。

大手自動車部品メーカーのボッシュ(ドイツ)は1980年代からMEMSの開発に着手。1995年から今日までに生産したMEMSセンサーの数は2億個に達しており、同社は世界一のMEMSセンサーメーカーとなっています。自動車用の電子部品は、立方ミリメートル単位でのスペース効率の向上と、マイクロアンペア単位での消費電力の減少、そして対衝撃性が高いレベルでが求められきたので、携帯電話などの小型電子機器への応用は容易でした。今日のMEMSの発展は、自動車用の電子制御技術がもたらしたともいえるでしょう。

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ウエハ加工サービス 特徴のある装置、ソフトの販売、MEMS製品等の販売
○MEMSの設計・開発、試作及び製造 ○MEMS製造技術の開発 ○MEMS開発受託サービス

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