技術伝承と発展を支援する ものづくりエンジニア向け技術用語サイト『モノシリ』
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フローティングゾーンホウ |
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Float Zone technology |
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FZ法とは、シリコン単結晶を育成する方式の一つ。原料となる多結晶の試料棒の一部を加熱し、種結晶となる下部の単結晶と試料棒との間に溶融部を作り、その融液部を表面張力によって支えながら全体を下方に移動させ、融液部を冷却して単結晶を得る方法。CZ法と違って石英るつぼを使わず、異物と接触しないので、純度の高いシリコン単結晶が作れる。地球上では、重力の影響で大口径化が難しい。 |
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