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FPD製造装置

よみ エフピーディーセイゾウソウチ
英 FPD equipment
概要 FPD製造装置とは、液晶、PDPなどの薄型ディスプレイ(FPD)を製造する装置の総称。アレイ製造、セル製造などの工程で重複するプロセスもあるが、洗浄・乾燥装置、レズスト塗布装置・コータ、露光装置、現像装置、エッチング装置、剥離装置、ベーキング装置・アッシング装置(アッシャー)、熱処理装置、基板貼り合せ装置、液晶注入装置などが含まれる。

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