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製造業技術用語集

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顕微鏡用XYステージ

よみ ケンビキョウヨウエックスワイステージ
英 microscope XY-stage
概要 顕微鏡用XYステージとは、顕微鏡専用につくられた、高精度に可動するXYステージの一種。微細な動作が必要なため、駆動にはアクチュエータや精密ボールねじが用いられる。移動分解能0.05~1μmで、各社の顕微鏡に適合する。他に、ステージ上でプレパラートに取付ける微動メカニカルステージなどもある。

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