技術伝承と発展を支援する ものづくりエンジニア向け技術用語サイト『モノシリ』
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セイデンヨウリョウシキヘンイケイ |
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capacitance type displacement gauge |
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静電容量式変位計とは、プローブとワークの間に生じる静電容量の変化により、その距離の変動を測定する非接触式変位計の一種。導電体(金属、金属めっき品、半導体など)しか測定できないが、nmオーダの高分解能、材質や色・光沢による影響がない、非接触式のため測定対象に損傷を与えないなどの特長がある。 スピンドル軸の回転ぶれ、光学ディスクの揺れ・偏芯、半導体の高さ、フィルム厚さなどを測定する検査工程で使用されている。 |
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エレクトロニクス関連機器、先端素材の輸出入販売および技術サポートならびに応用開発。同機器、装置のコンサルティング |
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