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軟X線

よみ ナンエックスセン
英 soft x-ray
概要 軟X線とは、低エネルギーで透過性の弱いX線のこと。約0.1～50nmの比較的長波長のX線で、真空紫外線と同様に物質に吸収されやすい性質をもち、ワークへのダメージが少ないために「soft(軟)」と呼ばれる。
半導体・MEMSなどの微細加工や、半導体材料・環境物質の分析・構造解析、顕微鏡としての生体細胞の観察、蛋白質の構造解析などに使用されている。

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