製造業技術用語集

空気清浄度

	クウキセイジョウド
	air cleanliness
	空気清浄度とは、空気がどのくらい清浄かを表す尺度のこと。クリーン度とも言う。クリーンルームやクリーンブース、クリーンベンチなどの性能を表すのには欠かせない数値で、一定体積中に含まれる浮遊微粒子の大きさと数で定義されており、FED、ISO、JISの3つの規格がある。 1963年に制定された米国のFED規格(FED-STD-209D)は、1立方フィート(cft)中の直径0.5μm以上の粒子数で定義し、例えば1cft当たり100個以下の場合を「クラス100」と呼ぶ。1cftは約28.3リットルに相当する。 ISO規格は1999年にISO14644-1として制定され、現在はこれが国際標準となっている。1立方メートル中の直径0.1μm以上の粒子数で表し、例えば1立方メートル当たり100個以下の場合を「クラス2」と呼ぶ。この「2」は、10の2乗という意味である。さらに直径0.2μm、0.3μm、0.5μm、1μmなど粒径ごとに粒子数の上限値を定めている。フィート単位だったFED規格は、1992年にメートル単位に変更されたが、2001年に廃止された。さらに2002年には国内でISOに準拠したJIS規格(JIS B 9920)が制定されたものの、最も古くからあった規格として普及してしまっていたため、現在でも日本ではFED規格での表示が主流である。空気清浄度の測定にはパーティクルカウンターなどが使われる。