技術伝承と発展を支援する ものづくりエンジニア向け技術用語サイト『モノシリ』
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レーザーケンビキョウ |
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laser microscope |
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レーザー顕微鏡とは、レーザー光を試料に照射し、主にその反射光を観察する顕微鏡の一種。ある領域を観察するにはレーザー光をスキャンしなければならないため、「走査型レーザー顕微鏡」も同義である。 ピンホールを用いた共焦点光学系(コンフォーカル光学系)を採用した機種が多く、焦点位置からの反射のみを受光するため、高精度な焦点位置検出が可能で、ピンボケやフレアのないシャープな画像が得られる。また、試料または対物レンズをZ軸方向に動かすことで、試料の深さ・高さ方向の情報が得られるため、非接触・大気中にて簡単に、試料の表面形状の観察、高さ方向の寸法測定、段差測定、粗さ測定などができる。近赤外線(NIR)レーザーを搭載し、IC内部を高分解能で観察可能なタイプもある。 |
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