技術伝承と発展を支援する ものづくりエンジニア向け技術用語サイト『モノシリ』
| プラズマヒョウメンショリソウチ | |
| plasma surface treatment equipment | |
| プラズマ表面処理装置とは、高温のプラズマにより気体分子を解離してイオン化し、これをターゲット材に衝突させることで表面の性質を変化させる装置のこと。元来はイオンの化学反応を用い、表面の有機系汚れを除去するのが目的であった。その後、ガスの性質により、基材に親水性や接着剤との親和性を付加したり、反対に撥水性を追加したりできることが判明し、加工技術として発展した。 ポリマを形成する、金属表面に窒素や炭素を浸入させて耐摩耗性を向上する、などの応用も開発されている。 |