技術伝承と発展を支援する ものづくりエンジニア向け技術用語サイト『モノシリ』
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パーティクルモニタ |
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particle monitor |
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パーティクルモニタとは、空気中や液体中にある埃や微粒子、不純物などを連続して計数する常時監視用の測定器のこと。パーティクルカウンターが高精度な定点測定用であるのに対し、パーティクルモニタは簡易的な測定ではあるが、突発的な発塵を常時監視できるので、クリーンな環境を維持・管理する用途に適している。 測定原理はパーティクルカウンターと同様で、微粒子からの光の散乱の強度を測ることで、粒子径と粒子数を電気信号として得て、データを内部にメモリしたり、パソコンやFAコントローラに連続送信する。時系列のデータをもとに、粒子数の変化をグラフ表示したり、異常値の発生を警告できる。クリーンルームで常時、空気清浄度をモニタする場合や、超純水中の微粒子の監視に用いる。 |
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