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ドライポンプ

よみ ドライポンプ
英 dry pump
概要 ドライポンプとは、ガス管路や真空室内にオイルなどの液体を用いない機械式の真空ポンプのこと。排気の方式により、ケーシング内でロータを回転させるルーツ式や、ダイヤフラムを上下させるダイヤフラム式、金属製のタービンを回転させて排気するターボ分子ポンプなどがある。液体を用いないためミストの発生がなく、クリーンな真空が要求されるFPD製造や半導体製造で使用される。

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