技術伝承と発展を支援する ものづくりエンジニア向け技術用語サイト『モノシリ』
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ダウンフローホウシキ |
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Down-flow system |
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ダウンフロー方式とは、クリーンルームにおける空調・気流方式のひとつで、天井全面から均一の清浄な空気がおりてきて床面で吸い込んで循環させる。垂直層流方式とも言われる。構造的に空気の吹出し口と吸込み口が垂直に配置されているので、空気の流線が平行になり、空気の乱流を防ぐ。半導体の前工程など、クラス10100のスーパークリーンルームで採用されている。 |
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プラズマリフロー装置（フラックスレスリフロー） |
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