技術伝承と発展を支援する ものづくりエンジニア向け技術用語サイト『モノシリ』
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スピンドライヤ |
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spin-dryer |
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スピンドライヤとは、洗浄したウェハを回転させ、遠心力と気流の吸引により付着した水分を脱水・乾燥する装置のこと。熱を用いず、ウェハを傷めない、機構が簡単で装置の小型化ができる、などの特長を備える。バッチ式であり、1回で処理する枚数(キャリア数)や、対応するウェハ径、マニュアル、セミオート、オートタイプを選択できる。 |
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