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コーター

よみ コーター
英 coarter
概要 コーターとは、材料に薬品や塗料などを均一に塗布するための装置のこと。
塗装や印刷の分野でも使われるが、特に半導体製造装置においては、ウエハにレジストをナノ単位で均一に塗布するための装置のことをいう。

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