技術伝承と発展を支援する ものづくりエンジニア向け技術用語サイト『モノシリ』
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コウジュンドスイソハッセイソウチ |
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high-purity hydrogen generator |
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高純度水素発生装置とは、99.99995％程度の高純度な水素を発生する装置のこと。純水を電気分解して水素(と酸素)を発生するのが一般的な方法で、供給圧力が0.9MPa以下ならば高圧ガス保安法に抵触せずに使え、半導体製造、金属熱処理、燃料電池の開発などに利用できる。純度99.99999％以上の場合には超高純度水素発生装置と呼ぶ。 |
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水電解式高純度水素酸素発生装置：HHOG |
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