技術伝承と発展を支援する ものづくりエンジニア向け技術用語サイト『モノシリ』
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ケンビキョウヨウエックスワイステージ |
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microscope XY-stage |
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顕微鏡用XYステージとは、顕微鏡専用につくられた、高精度に可動するXYステージの一種。微細な動作が必要なため、駆動にはアクチュエータや精密ボールねじが用いられる。移動分解能0.05～1μmで、各社の顕微鏡に適合する。他に、ステージ上でプレパラートに取付ける微動メカニカルステージなどもある。 |
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顕微鏡用ＸＹステージ型外観検査装置 |
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