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静電容量式変位計

よみ セイデンヨウリョウシキヘンイケイ
英 capacitance type displacement gauge
概要 静電容量式変位計とは、プローブとワークの間に生じる静電容量の変化により、その距離の変動を測定する非接触式変位計の一種。導電体(金属、金属めっき品、半導体など)しか測定できないが、nmオーダの高分解能、材質や色・光沢による影響がない、非接触式のため測定対象に損傷を与えないなどの特長がある。
スピンドル軸の回転ぶれ、光学ディスクの揺れ・偏芯、半導体の高さ、フィルム厚さなどを測定する検査工程で使用されている。

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MicroSense LLC社の静電容量型変位計および磁気解析評価装置の販売および保守ならびに応用開発

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