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走査型電子顕微鏡

よみ ソウサガタデンシケンビキョウ
英 scanning electron microscope
概要 走査型電子顕微鏡とは、電子線を細く絞って試料(被観察物)に当て、放出される二次電子や反射電子、透過電子、X線、カソードルミネッセンス（蛍光）、内部起電力等を検出する事で対象を観察する電子顕微鏡のこと。英語の頭文字を取ってSEM(セム)と呼ぶことが多い。透過型のTEM(transmission electron microscope、テム)と異なり、内部の情報は得られないが、表面の凹凸を3次元的に観察できる。立体的な部位(半導体の電極など)も薄く切る必要がなく試料にできるので前準備が簡単で済む。

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