技術伝承と発展を支援する ものづくりエンジニア向け技術用語サイト『モノシリ』
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ソウサガタプローブケンビキョウ |
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Scanning Probe Microscope |
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走査型プローブ顕微鏡 (Scanning Probe Microscope; SPM)とは、先端が尖ったプローブ（探針）で、 物質の表面をなぞるように動かし、その高低や表面状態を拡大観察する顕微鏡のこと。 微少な電流(トンネル電流)を利用する走査型トンネル顕微鏡(STM)や、原子間力を利用する原子間力顕微鏡(AFM)など、数多くの種類がある。超高真空中ではSTMやAFMは原子以下のレベルの表面凹凸を観察できるなど、光の波長に依存する光学顕微鏡に比べて空間分解能が非常に高いのが大きな特長。 |
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1970年代ユニソクは最も高速性能(dead time:1msec)のストップトフロー装置を完成。マルチチャンネル分光測... |
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ブルカー・エイエックスエス ナノ事業部は、ナノスケール・原子スケールにおける高分解による材料表面形状観察、粗さ測定、更に... |
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