技術伝承と発展を支援する ものづくりエンジニア向け技術用語サイト『モノシリ』
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ハッコウブンコウブンセキ |
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optical emission spectroscopy |
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発光分光分析とは、被測定物を高温のプラズマにより蒸発・気化させ、発生する発光スペクトルを分光して、その波長から元素を特定し、発光強度から定量する分析方法のこと。英語を略して「OES」とも呼ぶ。プラズマをつくる励起放電としては、スパーク放電、直流アーク放電、グロー放電などがあるが、ICP(Inductively Coupled Plasma、誘導結合プラズマ)を用いたICP発光分光分析（ICP-OES）もある。 主に金属元素の分析に使用し、複数の元素を一度に検出できる、高感度(ppbレベル)、試料も微量などの特長をもつ。ただし、炭素や窒素、酸素、水素、フッ素などは分析できない。 |
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