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半導体圧力センサ

よみ ハンドウタイアツリョクセンサ
英 semiconductor pressure sensor
概要 半導体圧力センサとは、半導体を用いて圧力変化を検出する圧力センサの一種。ピエゾ抵抗型、静電容量型、シリコンレゾナント型などがある。
もっとも一般的なピエゾ抵抗型は、半導体のシリコンで圧力を受けるダイヤフラムを作成し、その裏面に拡散歪ゲージを作った構造で、圧力を受けてひずむことにより抵抗率が変化するピエゾ効果を利用したセンサである。構造が簡単で、小型化できるなどの特長をもつ。直接シリコンが測定流体と接触しない隔膜式もあり、腐食性ガス・薬液に適応できる。

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