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低真空

よみ テイシンクウ
英 low vacuum
概要 低真空とは、真空技術の中でも、100Pa～約10万Pa程度と比較的低い真空度のこと。ドライポンプ、ダイヤフラムポンプで得られる真空は、主にこの領域になる。大気圧に近い領域で、簡単に得ることができ、リークなどにも極端に気を使う必要がないため、バキュームチャックによるハンドリング、真空乾燥、真空成型、真空脱泡など多くのアプリケーションに用いられている。
また、電子顕微鏡の観察エリアも低真空状態を保つ場合が多い。

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