技術伝承と発展を支援する ものづくりエンジニア向け技術用語サイト『モノシリ』
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テイオンピーブイディーコーティング |
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low-temperature PVD coating |
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低温PVDコーティングとは、ワークの加熱温度を通常よりも低い状態で処理するPVD(物理気相成長法)を用いたコーティングのこと。PVD(Physical Vapor Deposition)は、物理的な効果によりワーク表面に粒子化した金属原料の被膜を生成する手法で、通常は500℃程度にワーク母材を加熱した状態で成膜する。これに対して、200～250℃以下の低温処理でも密着性に優れたコーティングを可能にしたのが低温PVDコーティングである。 低温処理のためワーク母材の変質、変形、硬度低下などがないというメリットがあり、膜厚精度にも優れている。精密金型、切削工具などに利用されている。 |
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フランスＨＥＦ社製ＰＢＳ（プラズマブースタースパッタリング）コーティング装置による各種精密機械部品・自動車部品・精密金型... |
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