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リニアステージ

よみ リニアステージ
英 linear stage
概要 リニアステージとは、ガイドレールに置いたテーブル(ステージ)を直線移動させる装置のこと。駆動方式はリニアモータ、ボールねじ、エア駆動などがある。ガイドレールに沿った横方向をX軸、奥行き方向をY軸と呼び、テーブルを回転できる場合はθ軸と表記し、複数の組合せによりXYステージ、XYθステージなどの多軸化が可能である。

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