技術伝承と発展を支援する ものづくりエンジニア向け技術用語サイト『モノシリ』
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ミニエンバイロメント |
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mini-environment |
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クリーンルーム方式の一つ。周囲の清浄度より著しく高い局所的清浄環境を設置する方式で、小さな空間内を清浄にすることにより低コストで清浄度を保つ。全域を高清浄域にするダウンフロー方式からミニエンバイロメント方式へと移行が進んでいる。 規格としてSMIF(Standard Mechanical Interface)-Pod や FOUP(Front-Opening Unified Pod)がある。 |
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静電気除去装置 クアッドバー |
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クリーンエアユニット |
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クリーンエアーユニット SUM-1000シリーズ |
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フラットパネル製造関連製品 「搬送/洗浄工程用カセットなど」 |
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