技術伝承と発展を支援する ものづくりエンジニア向け技術用語サイト『モノシリ』
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フォトエッチングカコウ |
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photo-etching process |
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フォトエッチング加工とは、写真の露光と薬液反応(現像)を利用したエッチング加工のこと。写真技術が使用されるのは、エッチング加工の工程の中でも、エッチング剤による腐食加工から除去したくない部分を保護するマスクを作成する工程である。具体的には、感光性があるフォトレジストをワークの表面に付け、露光により精密な形状(パターン)を焼付け、現像することでワーク上にマスクを作成する。 精密金属加工や、ガラス、シリコンウェハ、ポリイミドフィルムなどの基板上の回路作成などに用いられ、µmオーダの微細な加工が可能で、同じ形状・精度の製品が容易に量産できるというメリットがある。 |
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