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デコンタミネータ

よみ デコンタミネータ
英 de-contaminator
概要 デコンタミネータとは、電子顕微鏡の試料室内に蓄積するコンタミ源(汚染物質)を除去する装置のこと。試料クリーナとも呼ぶ。グロー放電やRFにより発生させたイオンや酸素プラズマなどを用いて、試料室内壁や試料自身に付着したハイドロカーボン(電子線の静電気により集まりやすい)や有機物をアッシングして短時間にクリーニングできる。

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De-Contaminator（デコンタミネーター）　Evactron 45 De-Contaminator（デコンタミネーター）　Evactron 45
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De-Contaminator（デコンタミネーター）　Evactron 25 De-Contaminator（デコンタミネーター）　Evactron 25
冷却ステージとEvactron　De-Contaminator（デコンタミネーター） 冷却ステージとEvactron　De-Contaminator（デコンタミネーター）

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