技術伝承と発展を支援する ものづくりエンジニア向け技術用語サイト『モノシリ』
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スピンエッチャー |
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spin etcher |
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スピンエッチャーとは、半導体ウェハ製造工程において、回転しているウェハに薬液を上から滴下してエッチング処理を行うスピン式のエッチャーの一種。薬液に浸すタイプの浸漬式エッチャーに比べて、ウェハ全面の均一なエッチングが可能で、処理時間も短い。ただし枚葉式のため、全体のスループットが低くなってしまう。これを解決するために、処理チャンバを複数にした機種もある。 また、スピンドライヤのように、キャリアに積載した複数枚のウェハを一度にエッチングできる機種もある。枚葉式とは異なり、パワートランジスタなどあまり微細ではない工程の処理に適しており、より全体の薬液使用量を削減できる。 |
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