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| コンタミネーションコントロール | |
| contamination control | |
| コンタミネーションコントロールとは、製品への不純物の付着・混入(すなわち「コンタミ」)がないように管理すること。「清浄度管理」ともいい、JIS規格で『限られた空間、及び製品などの内部、表面又は周辺について、要求される清浄状態を保持するためあらゆる事柄について計画を立て、組織し、実施すること』と定義されている。 クリーンルームはコンタミネーションコントロールが一定条件下できちんと行われている空間の代表例。コンタミネーションコントロールの対象となるのは、取り扱う製品、器具、実験対象物と、クリーンルーム内の空気、供給される水、ガス、薬液などである。まず、不純物を測定・分析し、何からどのようにして不純物が発生し、空気・ガスや液体を経由してどのように移動し、製品の表面にどのように付着するのかを解明した上で、不純物の発生防止(クリーンウェア、パスボックスなど)や、発生した不純物の除去(HEPAフィルター、ULPAフィルターなど)、製品への付着防止などの対策を立てる必要がある。 |