製造業技術用語集

グローブボックス

	グローブボックス
	glove box
	グローブボックスとは、外気を遮断した低水分または低酸素濃度の環境の中で、グローブを介して手作業が行える密閉式のボックスのこと。気密性があるメインボックス部(ステンレス製の場合にはのぞき窓が付く)と、試料を出し入れするためのエアロック付きパスボックス部(アンテチャンバ部)、操作用グローブ、ボックス内の空気を置換する不活性ガス精製部などで構成される。通常のガス置換型(大気圧型、パージ型)と、排気装置を備え、真空に引いてガス置換をしたり、負圧に保ったまま作業ができる排気型(バキューム型、真空式、真空置換型)がある。他に、試料加熱・冷却装置、顕微鏡、ヒータ、電気信号のインタフェースなどを組込んでいることもある。不活性ガスとしては窒素、ヘリウムなどを使用し、酸素濃度・水分濃度を1ppm以下に制御できる。半導体、医薬品、各種分析作業などで、酸素や湿気を嫌う材料・製品や、危険・有害な薬液を取り扱う場合に使用する。厳密な気密性を求めない場合には、ドラフトチャンバやクリーンドラフトを使用する。