技術伝承と発展を支援する ものづくりエンジニア向け技術用語サイト『モノシリ』
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オゾンスイセイゾウソウチ |
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ozone water purifying apparatus |
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洗浄・殺菌などに効果を持つオゾン水を製造する装置のこと。水にオゾンガスを溶解する方法の他、水中に含まれる酸素を電気分解して製造する方法などがある。半導体ウエハーの洗浄や基板洗浄、レジスト剥離などに使用される。 |
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■渦流タービンポンプ/液晶・半導体・超純水用シールレスポンプ ■うず巻ポンプ、水封式真空ポンプ、3連式高圧ダイヤフラム... |
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液体フィルター、ガスフィルター、ミストフィルター、メンブレンフィルター、自動洗浄ストレーナー、ストレーナー、ミネラルウォ... |
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