技術伝承と発展を支援する ものづくりエンジニア向け技術用語サイト『モノシリ』
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アッシング |
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Ashing |
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アッシングとは、エッチングの後、不要となったフォトレジストをプラズマなどで反応させて気相中で分解・除去するレジスト剥離のこと。またその装置をアッシャー(レジスト剥離装置)と呼ぶ。 オゾンやガス等のガスを導入したアッシング室内で、紫外線等の光を照射してガスとレジストの化学反応を使っレジスト剥離をする光励起アッシングと、ガスを高周波等でプラズマ化し、そのプラズマを利用してレジストを剥離するプラズマアッシングの2つに大別される。 |
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○５０枚バッチ式プラズマ処理装置 ○枚葉式プラズマ処理装置 ○プラズマ洗浄装置 ○多目的プラズマ処理ユニット S-... |
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1. 新規装置であるバッチ式プラズマアッシング処理装置、枚葉式プラズマエッチング装置（RIE/DP切替え可）、枚葉式多目... |
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