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正解は 「両方無機物」現在の有機物の定義には「炭素を含む」だったり「C-C や C-H 結合をもつ」「生物(有機体)によって産生される」など、実はいろいろなものがあり、はっきりと線引きできないというのが実情です。ただ、二酸化炭素やダイヤモンド、炭酸などは一般的に『無機物』として認識されています。 |
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正解は 「両方無機物」現在の有機物の定義には「炭素を含む」だったり「C-C や C-H 結合をもつ」「生物(有機体)によって産生される」など、実はいろいろなものがあり、はっきりと線引きできないというのが実情です。ただ、二酸化炭素やダイヤモンド、炭酸などは一般的に『無機物』として認識されています。 |
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アッシャーとは、エッチングの後、不要となったレジストにプラズマ等を照射して反応させて気相中で分解・除去するレジスト剥離(アッシング)装置のこと。オゾンやガス等のガスを導入したアッシング室内で、紫外線等の光を照射してガスとレジストの化学反応を使ってレジスト剥離をする光励起アッシング装置と、ガスを高周波等でプラズマ化し、そのプラズマを利用してレジストを剥離するプラズマアッシング装置の2つに大別される。 |